FIB（聚焦离子束）

FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)将 离子源产生的 离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面。 1.产生二次电子信号取得电子像;  2.用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。 3.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属，氧化硅层或沉积金属层。